光柵傳感器指采用光柵疊柵條紋原理測量位移的傳感器。光柵是在一塊長條形的光學玻璃上密集等間距平行的刻線,刻線密度為 10~100線/毫米。
由光柵形成的疊柵條紋具有光學放大作用和誤差平均效應,因而能提高測量精度。傳感器由標尺光柵、指示光柵、光路系統和測量系統四部分組成。
標尺光柵相對于指示光柵移動時,便形成大致按正弦規律分布的明暗相間的疊柵條紋。這些條紋以光柵的相對運動速度移動,并直接照射到光電元件上,在它們的輸出端得到一串電脈沖,通過放大、整形、辨向和計數系統產生數字信號輸出,直接顯示被測的位移量。
傳感器的光路形式有兩種:一種是透射式光柵,它的柵線刻在透明材料(如工業用白玻璃、光學玻璃等)上;另一種是反射式光柵,它的柵線刻在具有強反射的金屬(不銹鋼)或玻璃鍍金屬膜(鋁膜)上。
這種傳感器的優點是量程大和精度高。光柵式傳感器應用在程控、數控機床和三坐標測量機構中,可測量靜、動態的直線位移和整圓角位移。在機械振動測量、變形測量等領域也有應用。
光纖光柵傳感器可以用于應力、應變或溫度等物理量的傳感測量,具有較高的靈敏度和測量范圍。在光纖若干個部位寫入不同柵距的光纖光柵,就可以同時測定若干部位相應物理量及其變化,實現準分布式光纖傳感。
總之,光柵傳感器的應用是一個方興未艾的領域,有著非常廣闊的發展前景。